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SuperViewW三維形貌顯微白光干涉儀用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點。

SuperViewW白光干涉3D表面形貌儀基于白光干涉原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，以3D非接觸方式測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。典型結(jié)果包括表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺階高度，錐角等等）；幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和體積，特征圖形的位置和數(shù)量等等）。

中圖儀器SuperViewW白光干涉超精密工件表面3D形貌儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。它具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。

SuperViewW白光干涉微觀形貌及粗糙度儀測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

SuperViewW白光干涉儀三維表面測量系統(tǒng)讓輪廓測量價格更為實惠。應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)。

SuperViewW白光干涉微觀形貌測量儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。